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集成电路（DRAM）集成度
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16K
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64K
|
256K
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1M
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4M
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16M
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相邻线距（μm）
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4
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2.2
|
1.8
|
1.2
|
0.8
|
0.5
|
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微粒
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直径（μm）
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0.4
|
0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.08
|
0.05
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个数（PCS/ml）
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＜100
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＜100
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＜20
|
＜20
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＜10
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＜10
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细菌（CFU/100ML）
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＜100
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＜50
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＜10
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＜5
|
＜1
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＜0.5
|
|
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电阻率（μs/cm，25℃）
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＞16
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＞17
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＞17.5
|
＞18
|
＞18
|
＞18.2
|
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TOC(ppb)
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＜1000
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＜500
|
＜100
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＜50
|
＜30
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＜10
|
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DO(ppb)
|
＜500
|
＜200
|
＜100
|
＜80
|
＜50
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＜10
|
|
|
Na + (ppb)
|
＜1
|
＜1
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＜0.8
|
＜0.5
|
＜0.1
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＜0.1
|
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