​多晶硅片,半导体器件，太阳能光伏行业硅片清洗水质要求非常高，电阻率达18兆以上，目前首选工艺是全膜法制取超纯水，全膜法超纯水设备是指采用盘滤+UF+RO+EDI+SMB组成的工艺设备，即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透＋EDI工艺使产水电阻率达到15MΩ.cm以 上，终端供水采用变频供水泵＋二级精精混床＋终端超滤膜使产水电阻率达到18.2MΩ.cm，经处理后的产水水质...

​反渗透系统由反渗透膜(RO膜)、 高压泵及为保护反渗透膜而设置的保安过滤器组成。保安过滤器内装有过滤孔径为5μm的滤芯。这些滤芯会过滤掉任何尺寸大于5μm的颗粒。对下游RO膜起到保护作用，否则RO膜表面极易结垢。目前较常用的渗透膜类别为聚酰胺膜，膜型式为卷式复合膜，该种型式的膜的除盐率可达99.5%。由于RO膜易受水中PH值、余氯及水温的影响，故RO膜运行前对进水水质有严格要求：

​矿泉水设备通常采用超滤膜来做，经过超滤膜过滤后能去除一些对人体有害的物质，保留对人体有益的物质，矿泉水一般对原水要求比较高，需要经过国家相关部门堪测并出具相关证明文件。​超滤膜的孔径大致在0.005-1微米之间。因此超滤膜分离过程曾被看做是一种单纯的物理分离过程。

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​纯化水系统中纯化水箱及不锈钢管道的处理(清洗、钝化，消毒)分为纯化水循环预冲洗→碱液循环清洗→纯化水冲洗→钝化→纯化水再次冲洗→排放→消毒,在管道的清洗、钝化和消毒时，不得安装紫外灯及除菌滤器过滤介质，不得安装呼吸器。

​净化装置工艺由两级过滤组成。一级精密过滤器为PP棉溶喷滤芯 (2套)，目的在于去除较大颗粒悬浮物，满足膜过滤进水要求，保护中空纤维超滤膜组件，延长膜寿命；二级过滤为中空纤维超滤膜组件(2套)，目的在于去除 一般过滤器难以去除的大分子物质及细菌。在整个工艺中，超滤为主体工艺，大部分难以去除的大分子物质、细菌及大肠杆菌可通过超滤膜的截留去除。