超纯水设备的进水水源为反渗透纯水或去离子水等，进水电导率要求≤20us/cm，当然，进水水质越好，超纯水水质也越好，其使用寿命也会适当地增加，其主要应用于工业生产用水，比如黄金电镀厂，线路板厂，光电光学厂，LED显示器材厂，真空镀膜等等行业，对水质的要求都比较严格，像集成电路、半导体要求水质电阻率≥18兆欧。 超纯水设备的可持续稳定运行。持续稳定应包括两点:水质持续稳定，在持续取水一段时间后产水水质是否会下降。相比混床制取超纯水装置而言，EDI电去离子水设备要稳定得多，不过其造价也高很多， 超纯水设备主要是经过四项过滤的:预处理、反渗透膜、混床（阴阳离子交换器）等。他们都是有相对寿命的，预处理实际上是对反渗透膜的保护，如果它们失效，那么反渗透膜的负荷就加重，寿命减短，如果继续开机的话，那产生的纯水水质就下降，随之就加重了反渗透膜的负担，则反渗透膜的寿命就会缩短。最终结果是加大了超纯水设备的使用成本。
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