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一、半导体行业用超纯水设备概述

首先我们来说说半导体行业为什么要用超纯水,而且还是18兆欧以上的高纯水,主要是因为半导体工业就是通过在本征半导体(比如纯硅)里掺杂质来调节半导体材料导电性和其它物理化学性能的,极微量杂质就会剧烈改变半导体材料的性能,所以整个生产过程需要用超纯水,以减少杂质的引入,但是可能也由于半导体行业中有个别工艺或产品的不同,导致用水标准不同,从10兆欧到18兆欧,我们绿健水处理公司设计的超纯水设备主要采用石英砂过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、二级反渗透系统、EDI装置。对要求水质高的企业,在后端精处理加抛光混床以达到18.25兆欧的水质。

二、半导体行业用超纯水设备的超纯水设备流程

原水箱→增压泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→全自动软化过滤器→保安过滤器→一级高压泵→一级RO反渗透主机→一级RO纯水箱→二级高压泵→二级RO反渗透主机→二级RO纯水箱→EDI增压泵→UV杀菌器→0.45um膜滤器→EDI系统→超纯水箱→超纯水增压泵→核能抛光混床→TOC脱除器→终滤器→用水点

三、半导体行业用超纯水设备构成  

1、原水箱 超纯水设备原水箱是用来储存自来水,设置有浮球开关,防止无水损坏增压泵,以及预处理罐。原水箱一般采用PE水箱,当然也可以根据用户实际情况选用不锈钢材质。

2、原水泵   原水泵是从原水箱内把水抽出,供应给预处理,经过预处理过滤在供给反渗透,绿健公司采用的原水泵主要是国产南方泵与丹麦格兰富水泵,质量性能都有保证。

3、全自动石英砂过滤器石英砂过滤器也就是多介质过滤器,或称之为机械过滤器,材质可选用玻璃钢罐、或不锈钢、碳钢罐等,滤料填装石英砂,然后用压力把自来水或地表水打入罐体内,从而去除水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、及部分重金属离子。

5、全自动活性炭过滤器   活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、余氯。这是因为有机物、余氯易使离子交换树脂中毒,而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒,还会破坏膜结构,使反渗透膜失效。

6、阻垢剂(或全自动软化水过滤器)   反渗透阻垢剂主要用于超纯水设备反渗透膜,主要防止反渗透膜表面结垢,从而保护反渗透膜,保持超纯水水质。工作原理:反渗透阻垢剂溶于水后发生电离,生成带负电性的分子链,Ca2+形成可溶于水的络合物或螯合物,从而使无机盐溶解度增加,起到阻垢作用。其实不管是用阻垢剂还是用树脂其作用都是防止膜结垢。

7、保安过滤器 保安过滤器装置在预处理后面,反渗透膜前面,有不锈钢材质或塑料材质,内置精密滤芯,有过滤精度5um的和过滤精度1um的,根据设计要求选定。

8、反渗透  反渗透膜一种模拟生物半透膜制成的具有特性的人工半透膜。一般用高分子材料制成。如醋酸纤维素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜。表面微孔的直径一般在0.510nm之间,透过性的大小与膜本身的化学结构有关。有的高分子材料对盐的排斥性好,而水的透过速度并不好。有的高分子材料化学结构具有较多亲水基团,因而水的透过速度相对较快。因此一种满意的反渗透膜应具有适当的渗透量或脱盐率。

9、PH调节系统 PH调节系统是用来调节一级反渗透产水的PH值,一般采用氢氧化钠来调节。

10、EDI膜块 EDI膜块是一种新型的过滤设备,它装置在反渗透后面,经过二级反渗透进入EDI膜块,出水水质可以到到17兆,原理:它巧妙的将电渗析和离子交换技术相结合,利用两端电极使水中带电离子移动,并配合离子交换树脂及选择性树脂膜以加速离子移动去除,从而达到水纯化的目的。在EDI除盐过程中,离子在电场作用下通过离子交换膜被去除。同时,水分子在电场作用下产生氢离子和氢氧根离子,这些离子对离子交换树脂进行连续再生,以使离子交换树脂保持较好的状态。

11、UV紫外线杀菌器   紫外线是一种肉眼看不见的光波,存在于光谱紫射线端的外侧,故称紫外线。紫外线杀菌器是物质运行的一种特殊形式,是一粒粒不连接的粒子流。每一粒波长253.7nm的紫外线光子具有4.9eV的能量。当紫外线照射到微生物时,便发生能量的传递和积累,积累结果造成微生物的灭活,从而达到灭菌的目的。

12、TOC脱除器 TOC是总有机碳的简称。其中的紫外线灯管的作用就是:利用紫外线将水中的碳水化合物的碳打断,在足够的照射剂量照射下,绝大部分的有机物被分解成H2OCO2。其剩下的物质就可以被后续设备吸附和分解。 13、抛光混床   抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端,来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上,以及对TOCSIO2都有控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是HOH型,装填后及可使用无需再生。

四、半导体行业用超纯水设备的优势

半导体行业用超纯水设备配备双级反渗透装置,可确保系统稳定运行,该套超纯水设备采用进口海德能超低压反渗透,脱盐率高,使用寿命长,运行稳定,能耗低。主要元件采用进口元件,稳定性高,操作简单方便。除此之外设备配备UV紫外线及膜滤器,可防止细菌对水质的影响。

 

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